硅片石墨舟夹具留意
2021-08-11 14:44:00
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硅片石墨舟夹具留意:
1、组装石墨舟最外边是外舟页,第二片为次外舟页,第三片为直角页,第四片为圆角页,第五片是圆角,以此类推,圆直相间。
2、第十一片是电极页,电极的方向是片子歪斜的方向,装舟块时确定舟脚的方位。陶瓷棒和陶瓷环用来固定舟页间方位,坐落中间;
3、碳纤维棒固定石墨块与舟页方位,接受石墨舟分量,坐落两端,舟号的方位在电极方向对面。
4、留意
(1)石墨舟易碎,轻拿轻放;
(2)留意工艺点方向一致,留意电极方向、电极页以及电极块的方位
(3)工艺卡点的破损;
(4)陶瓷棒和碳纤维棒要以双螺母紧固。