一、清洗前的招认  
     1、石墨舟在运用逾越100次时需求操作人员及时检查镀膜情况，出现镀膜反常，需求进行清洗招认。硅片在石墨舟内正常镀膜的颜色是蓝色，片内出现非蓝色、多种颜色或片与片间颜色差异较大，都是镀膜反常，需求及时招认反常原因。  
     2、由工艺人员对石墨舟的镀膜情况进行剖析后，确定石墨舟是否需求清洗以及卡点是否需求替换，将需清洗的石墨舟交由设备人员清洗。
     3、石墨舟损坏后，由出产人员取出石墨舟内悉数的硅片，并运用CDA（压缩空气）对石墨舟内碎片进行收拾，结束后设备人员将其抬入现已配好必定比例HF溶液的酸槽中进行清洗。  
二、石墨舟的清洗
     1、翻开酸槽排水阀，待废酸排尽，用水枪对酸槽进行冲刷。  
     2、关上阀门，将石墨舟放进酸槽中，翻开进水阀门，往酸槽里放入纯水直到水能够吞没石墨舟接连，关闭水阀。然后在酸槽加入HF酸（4瓶），把清洗机的窗户关好，然后初步清洗（要在酸中浸泡6个小时左右）。清洗过程中戴好防酸碱手套，将石墨舟从酸槽中取出检查是否清洗洁净，假如到时刻还未洗洁净，再继续清洗，直到洁净接连。  
     3、清洗洁净之后，放入水槽，用水枪冲刷后关上排水阀，放水，以水没过舟为准， 漂洗一般需2个小时。  
     4、清洗结束后，将石墨舟从水槽中取出，用气枪吹掉表面显着的水珠。
     5、将石墨舟抬入专用烘箱，关上烘箱门锁紧；翻开电源开关—风机开关—升温开关—报警开关；温控表设定温度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小时（经过查验石墨舟在烘箱烘干后与运用前的石墨舟无差别方可取出）。  
     6、设定温度20度，一般降温半个小时烘箱里的石墨舟抵达常温，能够取出。  
     7、将石墨舟上的悉数螺母扭紧并检查石墨舟悉数的陶瓷件，需求替换工艺点的石墨舟，取出后需求入修补间专用货架等候修补。

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