煅烧石墨加工的操作规程：
一、作业分配
供给高纯度的石墨卡瓣和石墨基座，为出产优质太阳能级多晶硅奠定根底。
二、职位的职责
1、煅烧石墨零件的制备
2、石墨零件的清洗
3、石墨零件的干燥
4、石墨零件的煅烧
三、流程原理
石墨加工中挥发性物质经过高温煅烧除掉，以防止杂质污染多晶硅在复原和拉伸硅芯。
四、工艺方针
1、真空泵低真空至30格栅(1x 10-3齿轮)
2、涣散泵高真空到90格栅(1x 10-3齿轮)
3、焙烧炉高压启动后20分钟升压，每次0.5V。
4、煅烧炉温度至1550℃
五、泊车及急迫泊车程序及操作方法
1、欢腾冷却水阀
2、翻开真空泵
3、闭式涣散泵制动刀、预热涣散泵
4、当低真空到达30格栅(1x 10-3齿轮)时，翻开真空阀，关闭低真空阀。
5、翻开高真空阀，高到90格栅(1x 10-3齿轮)
6、翻开高压开关，20分钟后升高电压。当真空度等于80-90格时，压力增加到8（x5），炉温为1550℃，恒温2-3小时。
7、中止：缓慢冷却，通常10分钟，中止高压电源，中止涣散泵，关闭真空阀，中止炉子，关闭冷却水阀。
8、拆炉：拆炉后，戴好口罩和高纯手套，将石墨件拆下，用洁净的塑料袋密封。
9、急迫泊车：先停真空泵，然后停电，最终停水。
六、石墨加工常见事端的分析与处理
（1）停水：当即关闭真空泵阀门，然后关闭电源。
（2）停电：关闭真空泵阀门，等候石墨炉和涣散泵温度降至室温，然后关闭电源，最终关闭循环水阀门。
（3）不能抽真空：停炉查看密封件的密封情况。
七 连锁、报警
水压、温度、真空、电压和电流
八、设备清单
循环水系统、真空系统、涣散泵、石墨煅烧炉
九、石墨加工工艺流程
石墨清洗→装炉→抽真空→开炉→升温→恒温→降温