石墨舟的使用和制造情况介绍

石墨舟推舟系统采用软着陆的方式，即将石墨舟放到反应管内部后，石墨舟推舟机构将退出，自动门关上。载片舟是经特殊设计，在X轴、Y轴、Z轴三个方向可微调，再经精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关，所以推舟系统是本设备的核心部件。

　　使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。

石墨舟及制造方法，在石墨舟毛坯料中浸渍有树脂，石墨舟毛坯经过固化处理、加工、高温处理使树脂充分炭化，在石墨舟表面形成一层薄膜，包括以下步骤：先把石墨原材料放置在真空炉内高温纯化、形成石墨舟毛坯料；石墨舟毛坯料放入调配的树脂中浸渍；石墨舟毛坯料固化处理形成坯体；固化后的坯体加工成成品；加工完的成品高温处理，树脂炭化，在成品表面形成薄膜；能够在石墨舟片表面形成一层均匀的抗氧化薄膜使用寿命长，降低了使用和维护成本，具有良好的经济效益和社会效益。