电子烧结过程所用的石墨模具材料，主要为超细颗粒结构、高纯度和高石墨化度的石墨材料，要求其平均粒径小于15μm，甚至10μm以下，中等气孔尺寸小于2μm。用此炭素原料做成的石墨模，气孔率小、结构致密、表面光洁度高、抗氧化性较强等优点，平均使用寿命可达30～40次。利用人造石墨材料热变形极小的特点，可制造晶体管的电子烧结石墨模具和支架，现已广泛使用，它已成为发展半导体工业不可缺少的材料。石墨模具具有优秀的导热及导电性能，线收缩系数低等很好的热稳定性能及抗加热冲击性，具有良好的光滑和抗磨性，易于加工，机械加工性能好，能够制造成外形复杂、精度高的模具，耐化学腐蚀与多数金属不易发作反响。