随着社会经济的发展,很多单晶硅厂家在石墨热场的使用上都比较熟练。 有两个原因:
正面,石墨毡保温效果好,厚度达到100mm,有效保证了径向梯度温度可能很小的情况。
一、长热的原因是石墨坩埚的厚度可以达到250mm,而上、中、下保温桶的口径可以足够大,有足够的纵向散热。 众所周知,石墨坩埚在使用过程中存在的问题会减少石墨坩埚的使用时间,也会增加厂家自身的成本。 如果您有制造石墨坩埚和热场加工零件的经验,我们来详细谈谈石墨热。 现场生产中的常见问题,我们应该如何处理。
1.特殊的抗热震性。 石墨的热膨胀是各向异性的,所以微观膨胀系数不大。 在温度突然变化的情况下,石墨的体积变化不大。 导热性好,因此石墨的抗热震性非常好。 如上两点所述,石墨热场零件应能在高温下长期稳定工作。
正常情况下,与保温罩、加热器等其他石墨设备相比,翻板坩埚的材质相同、厂家相同、工作环境相同。 为什么使用寿命远低于保温罩和加热器? 三叶坩埚开裂的主要原因来自石英坩埚。 1、由于熔融硅的密度大于固态硅,在冷却过程中,锅底料会破坏石英坩埚,将石英坩埚装在三叶坩埚上。 , 当石英坩埚劈裂产生的应力大于三叶坩埚所承受的应力时,三叶坩埚就会开裂,这就是为什么坩埚底料过多会使三叶坩埚爆裂的原因 . 2、加热时间过长,石英坩埚质量不够好,原料PH值不符合要求,会导致漏硅、渗硅。 就是使三瓣锅相互粘连,清炉时可能会分别形成裂纹。 3、在加热过程中,只有三叶坩埚的热源来自两个方面,一是加热器的辐射,二是石英坩埚的传导,导致三叶坩埚在 受热不均匀,受热时向一定方向膨胀。 大,向其他方向收缩,然后导致三瓣锅开裂。
热场的组成部分,如加热器、三叶坩埚、石墨支架、隔热罩等,均由石墨制成。 在生产过程中,经常会遇到加热设备损坏的现象,那么石墨设备损坏的原因是什么,应该采用什么方法来延长石墨设备的使用寿命呢? 石墨设备的损坏主要是人为和变质造成的。 在人的方面,只要加强管理,增强员工的防备意识,就能将损失降到更低的水平。 这里的主要讨论是恶化。 首先我们来了解一下石墨的相关特性,
2、耐高温,石墨熔点高,真空中3850度,低压下温度2200度。 与普通材料不同的是,当温度升高时,石墨不仅不会软化,还会增加强度。 在2500℃温度升高时,石墨的抗拉强度增加一倍。