1.石墨制品太阳能电池应用市场概述
多晶硅热场加热器
应用于半导体和光伏行业的上述两类石墨制品在几年前主要是从国外进口(或由mainland China外资企业提供)。但由于中国石墨行业、半导体材料行业和电子工业设备行业的共同努力,中国生产的这两类石墨配件(深圳市金诗科技有限公司)无论是制造技术还是应用技术都有了很大的进步,市场格局也发生了很大的变化。这也为中国石墨行业在这一领域开拓新的市场提供了新的机遇。但同时也应该看到,在我国大尺寸、高纯度各向同性石墨市场快速增长的同时,我国在这方面的制造技术还有一些方面不能适应,技术与国外先进水平还有很大差距。石墨制品作为微电子和光伏产业重要的基础装备材料,需要我国持续的技术进步。加强与半导体产业和光伏电池硅制造业的合作,进一步投资发展其配套的高档石墨制品是一项势在必行的重要任务。
在生产多晶硅锭的设备中,许多部件是石墨材料。特别是高纯石墨、铸锭炉加热器所用的加热材料以及所用的高纯碳毡绝缘材料,是目前多晶硅铸锭设备不可缺少的重要支撑材料。
由于铸锭炉加热器的加热温度很高(1600℃以上),要求其加热材料不能与硅材料发生反应和污染硅材料,因此可以在真空和惰性气氛下长期使用。满足使用条件的加热器有钨、钼、非金属石墨等。钨和钼价格昂贵,加工困难,而石墨来源广泛,可以加工成各种形状。此外,石墨具有热惯性小、升温快、耐高温、抗热震性好、辐射面积大、加热效率高、基本性能稳定等特点。正因为如此,石墨已经成为铸锭炉加热器的首选加热材料。铸锭炉加热器对隔热材料有严格的要求。必须是耐高温、低密度、低导热、低蓄热、隔热效果好、低气体释放、重量轻、低膨胀系数的材料。因此,在众多耐火隔热材料中,高纯碳毡是最理想的。
1.1应用市场发展和扩大的过程
半导体的发展离不开石墨材料在半导体工业中的应用。在半导体工业中,高纯石墨材料广泛应用于直拉单晶炉的加热系统中。也用作半导体硅片加工(包括区熔、外延、轮廓加工等)中的辅助工具和部件。);是半导体硅片多晶硅材料生产中的辅助工具和部件。电子工程用石墨制品,首先是实现其在半导体行业的应用。进入21世纪,光伏产业发展迅速,太阳能电池用多晶硅锭材料的产量和市场都有了突飞猛进的增长,这也为石墨制品在光伏产业领域提供了具有广阔发展前景的新市场。太阳能电池硅片的重要原料多晶硅锭开始在其生产设备铸锭炉中大量使用高纯优质石墨材料。
1.2石墨制品半导体应用市场概述
直拉炉用石墨零件是一种易耗件,由各种高纯石墨制成。如石墨坩埚等石墨部件采用高纯细晶石墨;石墨加热器采用高纯各向同性石墨;隔热罩和石墨罩采用高纯度中颗粒结构的石墨。